一、測試目的
氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量。
二、 使用儀器
無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內使用。熱線式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。 檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。
三、 測試步驟
(1) 在圖面上記錄濾網尺寸、數量并編號。
(2) 取樣點位于濾網下方 75-150mm 處。
(3) 每一個濾網下，若是使用單點式風速計，則每 1 平方英尺取一點；若是使用多點式風速計，則每 4 平方英尺取一點。
(4) 每測量點必須取 5 秒的平均。
(5) 依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。
(6) 記錄所有原始數值，以及分析后的數值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。
四、數據分析
風速測量很簡單，但是均勻度必須由數據分析來判定。均勻度是由相對標
準差來代表，其計算步驟如下。
1. 平均值：2. 標準差